数控机床定位精度与激光干涉仪测试曲线 分析

 

    摘要 用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测时，不同的机床，检测的精度曲线各不相同，想要提

高数控机床定位精度，就需要对不同的测试结果给予全面而科学的分析。分析雷尼绍产品在使用过程中遇

到的几种机床误差曲线的误差源及解决方案。

    关键词 

 

 

 

激光干涉仪 数控机床 定位精度 误差分析

    

 

中图分类号

TH744.3  文献标识码 B

    一、前言
    用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测，不同的机床检测的精度曲线各不相同，想要提高数控机

床定位精度，就需要对不同的测试结果给予全面而科学的分析。就雷尼绍产品在使用过程中遇到的几种机

床误差曲线的误差源及解决方案提出分析。

    二、数控机床定位精度常见误差曲线及分析
    1．负坡度
    图 1 中曲线向外运行和向内运行，两个测试均出现向下的坡度。图 1 显示在整个轴线长度上，误差呈线

性负增加。这表示激光系统测量的距离短于机床位置反馈系统指示的距离。此处注意，分析以上数据时使用

“

”

雷尼绍公司 所有数据图 图形类型的符号约定。一些三坐标测量机（例如

VDI2617 )使用相反的符号约定，

因此图形坡度与之相反。

 

图

1

 

    (1)负坡度可能原因。

在激光干涉仪设置上，

可能光束准直调整不正

确，如果轴线短于

lm，

则可能是材料热膨胀补

偿系数不正确，材料温度测量不正确或波长补偿不正确。

    (2)机床可能的误差源。俯仰和扭摆造成阿贝（Abbé）偏置误差、机床的线性误差。
    (3)建议。如果轴线行程很短，清检查激光的准直情况检查 EC10 和测量头是否已连接并有反应，或者

检查输入的手动环境数据是否正确。检查材料传感器是否正确定位以及输入的膨胀系数是否正确。使用角度

光学镜组，重新做一次测量，检查机床的俯仰和扭摆误差。

    2．正坡度
    图 2 显示在整个轴线长度上，误差呈线性正递增。可能是以下几种问题：
    (1)激光干涉仪设置可能有问题。如：材料热膨胀补偿系数不正确，材料温度测量不正确，波长补偿不

正确。

    (2)机床方面的问题。如：俯仰和扭摆造成阿贝（Abbé）偏置误差、机床的线性误差。
    (3)建议。检查 EC10 和传感器是否已连接并有反应，或者检查输入的手动环境数据是否正确。检查材料

传感器是否正确定位以及输入的膨胀系数是否正确。使用角度光学镜组，重新做一次测量，检查机床的俯

仰和扭摆误差。

 

 

图

2