硅片等级分类及标准

一、优等品

5 k* f2 Q6 T. s# x0 H

1：硅片表面光滑洁净。

; i" l  D5 U8 F  V# ]5 j# L

2：TV：220±20μm。
3：几何尺寸：

- F8 }# Q& L( F* L

边长

125±0.5mm；对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；

边长

103±0.5mm、对角 135±0.5mm；

# H4 X5 N9 a" f' s

边长

150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 203±0.5mm、200±0.5mm。

" P- ^4 p1 ?  `

同心度：任意两个弧的弦长之差

≤1mm。

1 b2 f& k0 k3 i. j3 n

垂直度：任意两边的夹角：

90°±0.3。

5 T+ ?1 B1 F: y; B  v0 R% Q

二、合格品

 

一级品：
1：表面有少许污渍、轻微线痕。
2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。

; m% g; m* o. s& i

3：几何尺寸：
边长

125±0.5mm；对角 150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm；

' q: p8 T7 K& d9 C  `

边长

103±0.5mm、对角 135±0.5mm；

边长

150±0.5mm 、156±0.5mm、对角 203±0.5mm、200±0.5mm。

同心度：任意两个弧的弦长之差

≤1.2mm。

垂直度：任意两边的夹角：

90°±0.5。

' |$ l- e0 s6 ^7 [1 m1 A

二级品：

8 y& U6 e/ ^/ _3 Q: u

1：表面有少许污渍、线痕、凹痕，轻微崩边。
2： 220±30μm ≤TV≤220±40μm。
3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。
4：崩边范围：崩边口不是三角形状，崩边口长度≤1mm，深度≤0.5mm

$ y. x4 k& V/ p" v

5：几何尺寸：

0 c5 D+ E4 a! D$ C: a2 \$ O4 u

边长

125±0.52mm；对角 150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm；

边长

103±0.52mm、对角 135±0.52mm；

5 j2 ~/ {0 }6 g, O) y2 f- Z

边长

150±0.52mm 、156±0.52mm、对角 203±0.52mm、200±0.52mm。

/ q, n9 R1 s$ H! A4 V* V9 

P2 ]

同心度：任意两个弧的弦长之差

≤1.5mm。

% ]$ a, ]7 L( W: V: ^1 ?

垂直度：任意两边的夹角：

90°±0.8。

% O7 L/ E, H: ?- f5 _0 v" X# k

三级品：

                                                                                                                  

+ n3 u$ E" a0 z

1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅落现象。

6 x5 i& w. s: B: T# t

2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。
3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。

$ b' d- n4 b' _0 e! ~2 l8 j

三、不合格品

& T. G  G+ d: N( I

严重线痕、厚薄片：

TV＞220±60μm。

崩边片：有缺损但可以改

Φ103 的硅片。

气孔片：硅片中间有穿孔

 。

外形片：切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差

>1.5mm。

菱形片（垂直度）：任意两边的夹角

>90°±0.8。

8 Y1 r/ V/ x# u, v

凹痕片：硅片两面凹痕之和＞

30μm。

) r7 W; F5 \$ g- Y* v