质检仪的光电读出原理

现以测定显微物镜光轴与物镜螺纹轴线的同轴度为例，说明仪器的光电读出原理。

　　如图

2 所示，AA‘为显微镜的正确轴线（光轴与机械轴重台），A 与 A’是物像共轭点，

设物面标志物为一个中心位于

A 的小圆孔，当显微镜使用过程中，物镜中心 0 产生了一个

∠的横向位移时，则 A 点的像将由 A‘移到 A“，即像方产生 ’

∠ 的位移， ‘

∠ 泌＝s’/s＝卩，卩

为显微物镜的横向放大倍数。若在像平面上放置四象限硅光电池，如图

2 所示，由于圆形像

光斑中心的偏移，则破坏了原来光电池四部分输出的平行状态，将四部分输出信号经过前
置放大（

PM）后，按下列规则进行逻辑运算：