硅片切割设备日常报警及处理方法

应用材料公司生产的硅片切割设备

--HCT 线锯已经成为现如今比较经典的切割硅片的

代表设备，无论从切割产能还是从切割稳定性，

HCT 都具有一定的优势。但是在日常操作

中，不免出现一些报警，本文通过对

HCT 线锯日常的报警进行汇总并提出相应的处理方法，

以方便大家在今后遇到相同的问题可以轻而易举解决。

　　

1、    锥形轴未完

全

"松开"

　　此报警是设备激
光测距不准造成的，
打开机床绕线室门将
法兰和所对激光擦拭
干 净 即 可 。 如 图
（一）所示

　　图（一）

　　

2、    冷却水压力低报警

　　冷却水压力低是机床冷
却部分所供不足造成的，将
冷却水补水阀门。（在机床
右侧顶部冷却系统处，将三
个阀门打开，将压力加大到
3bar 既可消除）

　　

3、    接低报警

　　接低报警分为三种：一种是中间电压低，二是两边电压低。

　　中间电压低多数是由于护板不合适所造成的；两边电压低有可能是周围存在着钢线或