线锯设备

HCT B 5 切片工艺新知

随着全球市场对高品质多晶硅硅片产品的需求日渐攀升，拥有先进技术和更具成本效

益的制造设备应运而生，在此背景下，切片工艺也随之出现各种差异化演变。本文中，笔者
谨结合所在公司采用的线锯设备

HCT B/5 的实际运用，试对切片工艺进行较为详尽的解析。

　　线锯设备的主要架构及操作界面

　　如图

1 所示，线锯设备 HCT B/5 的主要架构由 6 部分组成：主框架（1）；绕线室；切

割室；浆料供应系统；冷却系统和电气控制系统（含操作系统）。操作系统的主界面如图

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所示。