参考

R13500(660)-1/UM 型多晶硅铸锭炉设备

在高纯多晶硅原料

-硅片-电池片-组件-应用系统的太阳能光伏产业

链中，硅片生产和加工是最重要的环节之一。

R 系列多晶硅铸锭炉主要用于太阳能多晶硅铸锭的大生产，采用

先进的多晶硅定向凝固技术，将硅料高温熔融后通过特殊工艺冷凝

结晶，使其形成晶向一致的硅锭。是一种适用于长时间连续工作、

高精度、高可靠性、自动化程度高的智能化大型控制设备。

多晶硅铸锭炉工作原理：将涂覆

Si

3

N

4

涂层的坩埚装入多晶硅料

后放在导热性很强的定向凝固快上，炉膛抽真空，然后加热器加热

致使硅料完全熔化后，隔热笼缓慢提升，露出定向凝固快的下表面，

通过定向凝固快将硅料结晶时释放的热量辐射到下炉腔的水冷内壁

上，从而使坩埚内的硅料形成一个垂直温度梯度，这个温度梯度使

坩埚内的硅料从底部向顶部开始生长，当所有的硅料都凝固后，在

计算机程序的控制下，硅料进过退火、冷却出炉即完成整个铸锭过

程。

R 系列：R13500

 

型

480-500Kg      R13660

 

型

650-660Kg

R13500 型技术指标

指标

R13500 型 指标、项目

R13500 型

规定尺寸（

mm

3

）

846×846

×270-310

冷却水（

L/min  

）

-140

去离子水：压力：

0.35-

0.4Mpa