坩埚培训   

 

二、

坩埚装料注意事项 

1.  检查坩埚喷涂涂层 

喷涂面涂层应没有剥离等缺陷，所有表面应无起泡、龟裂、桔皮、针孔等不良现

象，在眼睛距等级面的标准处以 3m/min 速度扫视检查。 

将坩埚轻放在干净的石墨板正中，检查坩埚是否有旋转现象。 

2.  坩埚装料顺序 

第一步  铺底：使用较厚的板料，按照图二方式铺底，注意板料与坩埚内底棱之间，建

议保持有 5cm 左右的距离（没有碎片料填充坩埚内底棱和板料之间的缝隙时建议距离

为 3cm 左右）； 

第二步  碎料填充：碎料包含碎片料、颗粒料、小尺寸碎块原生料等尺寸较小的硅料，

必须保证坩埚内底棱与板料之间的空隙有碎料填充，如果沒有碎料，需保证护边放置

于铺底的板块料上方，不能直接接触于坩埚底部； 

第三步  护边：在内底棱与内底板块料之间的填充碎料上放置护边，建议护边之间的距

离，要求护边距离坩埚内立棱的距离，在 4 ~ 5cm，减少硅料融化过程中对内底棱和内

立棱的压力；护边一层一层放置，即放置一层后填充其它块料至与护边齐平时再放置

第 2 层护边，防止一次性放两层导致护边倒落，砸伤坩埚； 

图二