浅掺杂层是怎么形成的? 

1) 

预沉积:由表面杂质的数量控制

 

‘

60s:  表 面 的 薄 膜 或 气 相 掺 杂 剂  

表 面 浓 度 受 平 衡 的 溶 度 限 制  

离 子 注 入 (非 平 衡 ) ,  加 热 衬 底 以 扩 散 掺 杂 剂  

但是离子损伤了 材料

…

需要退火 ,改 变杂质 , 

C(z ) x 

 

不 久 :表 面 的 薄 层 或 者 气 相 掺 杂 剂  

2) Drive-in process:  加 热 衬底 +预 沉积

,  扩 散 决

定 了 结 深 ,锐度 

需要使扩散的图形更尖           

C 

深 度  

C (x) 

C (x) 

6.155/ 3.155J 9/29/03 

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