率达到颜色均匀。如果膜的颜色出现整体偏淡（膜厚偏厚），可以增加传输速率；如果膜的颜色出现整

体偏红（膜厚偏薄），则降低传输速率。如果一侧膜的颜色偏淡，则增加这一侧的微波

Toff 时间；反

之则减少。如果中间的硅片的颜色有变化，则同时改变所有的

Toff。以上述方法进行设备的调整，所有

的调整幅度为

1 个单位，并且保证不超过允许的范围。

4.4.3  确认整个石墨框均匀性合格后才能进行正式生产。

4.5  开始正式生产：将硅片依次放入到石墨框中，要保证扩散面向下，既沿着承片盒的开口取片并按

原方向放入托石墨框中。

4.6  按照试片的条件进行正片生产。

4.7  生产过程中，当上一个石墨框离开淀积区后再投入下一个石墨框。

4.8  卸片：卸片员工使用真空吸笔，逐个将镀膜后的硅片吸起，同时将该片翻转，检验镀膜质量。合格

品镀膜面向下放入传递盒内，每个传递盒放满后，放另一个传递盒。每批结束后填写好流程卡及碎片数，

转送到丝网印刷工序。

4.9  检验：不合格片包括：较大的色斑；较多的水点印；颜色明显不均匀；与深兰色相差较大等。不合

格片统一保存，进行返工，具体返工的操作见《

PECVD 不合格片返工流程》。

5.  关机：按照《PECVD 设备操作规程》关闭 PECVD 系统。

6.  注意事项

6.1  硅烷是一种易燃、易爆的特种气体，氨气是一种带有腐蚀性的特种气体，因此在使用前、使用中一

定要做好特气安全检查工作。

6.2  每二个班进行一次设备内部清洗，用吸尘器吸尘，用钢针清除 NH

3

和

SiH

4

进气口的堆积物。

6.3  根据石英管的使用时间（约 32-40 小时）确定是否需要更换石英管。更换石英管时使用专用工具。

6.4  装片和卸片时小心操作，避免硅片碎裂和损伤硅片的绒面。

6.5  在一个托石墨框上需要放不同批次的时候，在一批结束的后面放一片假片，说明该石墨框上有二

个批次存在，取片时必须严格分开。或者每批的零头单独淀积。

6.6  所有的工艺参数需经技术员确认才可修改，除了速度。

6.7  一 次 性 手 套 半 小 时 左 右 更 换 一 次 。

编制：花登根                    审核：陈平                    批准：潘振华

日期：2006、1、14               日期：2006、1、14             日期：2006、1、14

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