实验三：色差片批量处理效果对比

　　将同一批次的色差片分批处理，进行效果对比。

　　结论：

工艺

色差比例

碎片率

效率

原工艺

3.4%

0.21%

17.25%

新工艺

1.9%

0.19%

17.27%

       可见此法对处理再利用片效果较好，按近一步实验来看也可以推广至崩边、锯痕、薄厚
不均等片上。

　　由于效率方面有

0.03%-0.05%的提升，并且色差片数量并不比目前多，因而可推行到

加工正常片上。

　　同时无论是使用管式

PECVD 的设备，还是链式 PECVD 设备均可使用。