有机层形成方式,可分为传统方式和新型方式。传统方式是以气相沉积技术为基础的,
而新兴方式是以转印和印刷技术为基础的。
新兴方式中转印技术由三星和
3M 联合开发和研制;印刷技术主要由爱普生开发和研制。
这两种方法最大的优点是提高材料使用率和简化生产制程,但其技术和材料具有一定的垄
断性,目前还不具备量产的能力。
传统的气相沉积方法也就是我们通常所讲的
CVD,对于有机材料的蒸发,按照蒸发源
的不同和蒸发方式的不同又分为点源式、线源式及
OVPD(有机气相沉积)。
OVPD 是由德国爱思强公司研发,该工艺设计改进了可生产性,相对于蒸镀技术可以
降低制造成
本。具有优越的重复性和工艺稳定性以及显着的膜层均匀性和掺杂的精确控制,
为高良率批量生产奠定了基础,同时减少了维护和清洁要求,从而降级了材料消耗,具有
提高材料利用率的巨大潜力。
OVPD 方式具有较好的优越性,由非 OLED 生产商研制,面向广大的 OLED 生产商,
是业界较为看好的生产技术和设备。但是该设备目前存在两个问题:
1)目前成熟的设备仅可以制作 370×470 的尺寸,还无法满足大尺寸生产的要求。
2)该设备目前对单色器件有较好的可靠性,但全彩的稳定性还不够理想。
鉴于以上的分析,我们只能采用点源或线源的蒸镀方式。目前来看,点源技术日本
TOKKI 公司较为优秀,线源技术日本 ULVAC 公司较为优秀。宏威公司也可以在这方面加以
努力。
(6)、光射出方式技术路线选择
目前
OLED 器件有两种光出射方式:底发光和顶发光,下表是这两种方式的对比:
底发光技术工艺成熟,选择风险小,甚至没有风险。顶发光制作工艺有两个难点,一是
阴极制作,另一个就是封装方式。尽管顶部发光困难尚存,但已是趋势所在
(最少在背板材
料没有新的突破下
)。但从长远看,如果背板材料有了新的突破,如迁移率和均匀性得到质