2
:
220±30μm ≤TV≤220±40μm。
3
≤
:凹痕:硅片表面凹痕之和
30μm。
4
≤
:崩边范围:崩边口不是三角形状,崩边口长度
1mm
≤
,深度
0.5mm
5:几何尺寸:
边长
125±0.52mm;对角 150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm;
边长
103±0.52mm、对角 135±0.52mm;
边长
150±0.52mm、156±0.52mm、对角 203±0.52mm、200±0.52mm。
≤
同心度:任意两个弧的弦长之差
1.5mm。
垂直度:任意两边的夹角:
90°±0.8。
三级品:
1:表面有油污但硅片颜色不发黑,有线痕和硅落现象。
2:220±40μm ≤TV≤220±60μm。
3:硅落:整张硅片边缘硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
严重线痕、厚薄片:
TV>220±60μm。
崩边片:有缺损但可以改
Φ103 的硅片。
气孔片:硅片中间有穿孔。
外形片:切方滚圆未能磨出的硅片。
倒角片(同心度):任意两个弧的弦长之差
>1.5mm。
菱形片(垂直度):任意两边的夹角
>90°±0.8。
凹痕片:硅片两面凹痕之和>
30μm。
脏片:硅片表面有严重污渍且发黄发黑。
尺寸偏差片:几何尺寸超过二级品的范围。
注:以上标准针对的硅片厚度为
220μm。