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晶闸管和 IGBT 的区别是什么?
晶闸管和 IGBT 都是功率半导体器件。它们阻断高压的能力主要取决于器
件结构中特定 PN 结的反偏击穿电压。在功率器件中反偏 PN 结击穿电压往往又
受到 PN 结终结处表面特性或外界气氛影响,提前出现击穿现象。终结端就是为
了避免此现象发生而专门设计的特殊结构。结终端结构可分为截断型和延伸型两
大类。
硅片边缘表面造型、腐蚀、表面钝化等设计和工艺就是为了减小表面电场,
阻断外界干扰,这是截断型的通常做法。IGBT 用的是平面工艺,结终端是延伸
型。在主结边缘处设置一些延伸结构,起到主结耗尽区向外扩展作用,从而降低
其内的电场强度,避免提前击穿发生。这类结终端有:场板(FP)、场限环(FLR)、
结终端延伸(JTE)、横向变参杂(VLD)等结构。对高压 IGBT 器件,用得最多的,
工艺上容易实现的是场限环结构。为满足不断提高的工作电压需要这些结构也不
是一成不变,而是不断发展的,还有的设计将上述方法结合起来使用。
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