烧结就是把印刷到硅片上的电极在高温下烧结成

,最终使电极和硅片本身形成

欧姆接触,从而提高电池片的开路电压和填充因子 2 个关键因素参数,使电极的接触具有
电阻特性,达到生产高转效率电池片的目的.烧结过程中有利于 PECVD 工艺所引入－H 向
体内扩散，可以起到良好的体钝化作用。

烧结方式：高温快速烧结
加热方式：红外线加热
烧结过程
1、烧结是一个扩散、流动和物理化学反应综合作用的过程。在印刷状况稳定的前提下，

温区温度、气体流量、带速是烧结的三个关键参数。2、由于要形成合金必须达到一定的温度，
Ag、Al 与 Si 形成合金的稳定又不同，所以必须设定不同的温度来分别实现合金化。

3、将印刷好的上,下电极和背场的硅片经过网印刷机的传送带传到烧结炉中,经过烘

干排焦、烧结和冷却烘干排焦、烘干排焦烧结和冷却过程来完成烧结工艺最终达到上下电
极和电池片的欧姆接触。

①烘干排焦一
在网带的上、下都装有加热带，由温控仪控制其温度。目的是将印刷有浆料硅片烘干，

并使浆料内绝大部分焦油挥发出来。如果温度设置不合理，不能使大部分焦油从浆料中挥
发出来，剩下的焦油在进入下一区域时会对烧结的效果影响很严重，对转换率有高达
0.2%的影响。为了保证设备安全，在每个区域都设有 2 个热电偶，一个用于温度控制，
一个用于过温保护。

①烘干排焦二
为了减少腔室内热量的损失，在设备强势内部的四周安装上隔热板，并在腔室外的

两边装上了铝的隔热反射板，让整个腔室始终保持一个稳定的温度，有利于工艺的稳步
进行。对流器：对流器：为了能让从浆料中挥发的焦油全部从抽风管道中抽走，设计了一
个对流加热器。从烘干区上部的对流加热器中吹出温度受控的气体，吹到腔室中，在从烘
干区的两头将气体抽出，保证从硅片挥发出来的焦油被对流加热器吹出的热气带出腔室
内，而不会导致硅片挥发出来的热焦油在机器出口处冷凝而回流到设备里。对流盒子内置
在加热盒子里，经过过滤的大气被热空气风扇吸入到一个温度可控的加热器中，最后进
入到腔室内。但为保证安全操作，如果吸入的空气总量在增加，相应离开的总量必须是合
适的。

②快速加热烧结
根据工艺要求，需要此腔室的灯管能提供很高（高到 1000℃）的温度，并且能在

高温下工作。一般用石英玻璃管加热器。此种设备用气流把快速加热箱分成 4 独立的加热
系统，以保证每个腔室温度的独立性，可形成一个一个的温度阶梯，从而使最后一个温
区的温度在很短时间达到一个很高的温度。这样设计还可以是每个隔离区域横向位置温度
的不均匀性在一个很小的范围内。在此腔室内每个抽风口都特别设计了一个带加热装置的
文氏阀，能保证腔室内产生的废气流很快离开腔室，避免在烧文氏阀结温区废气对硅片
的污染，还能让产生的废气流不在管道口处冷凝。对于温度的测试，2 个热偶被安装在加
热区域。一个用于温度控制，一个用于超温报警。最后一个温区中安装了 2 个热偶，于皮
带正上方 20mm 处，他们反映了形成欧姆接触的共晶温度的真实值，他们的值可以在加
热菜单看到，可以直接了解内部的实际温度。为了能让温度急剧下降，在高温区出口处的
侧壁、上下部分都装有水冷系统。为了保证大部分热量都辐射到腔室内，在全部的加热盒
子周围都覆盖上保温层，在外层还覆盖有双层的铝反射板，有效延长了灯管的使用寿命。

③冷却
冷却盒子是一个可循环的盒子，为了冷却电池片和皮带，运送冷却水的管道安装在