一、硅片检测
硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率

的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线
测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N 型和微裂纹等。该组
设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中，光伏硅片检测仪对硅
片表面不平整度进行检测,同时检测硅片的尺寸和对角线等外观参数；微裂纹检测模块用
来检测硅片的内部微裂纹；另外还有两个检测模组，其中一个在线测试模组主要测试硅
片体电阻率和硅片类型，另一个模块用于检测硅片的少子寿命。在进行少子寿命和电阻率
检测之前，需要先对硅片的对角线、微裂纹进行检测，并自动剔除破损硅片。硅片检测设
备能够自动装片和卸片，并且能够将不合格品放到固定位置，从而提高检测精度和效率。

二、表面制绒
单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀，在每平方厘米硅表面形成几百万个

四面方锥体也即金字塔结构。由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的吸收，提
高了电池的短路电流和转换效率。硅的各向异性腐蚀液通常用热的碱性溶液，可用的碱有
氢氧化钠，氢氧化钾、氢氧化锂和乙二胺等。大多使用廉价的浓度约为 1%的氢氧化钠稀溶
液来制备绒面硅，腐蚀温度为 70-85℃。为了获得均匀的绒面，还应在溶液中酌量添加醇
类如乙醇和异丙醇等作为络合剂，以加快硅的腐蚀。制备绒面前，硅片须先进行初步表面
腐蚀，用碱性或酸性腐蚀液蚀去约 20～25μm，在腐蚀绒面后，进行一般的化学清洗。经
过表面准备的硅片都不宜在水中久存，以防沾污，应尽快扩散制结。