台湾某半导体企业的废水处理工程实例

王晓云

1

,

　付爱民

2

,

　李 　景

3

( 1. 福建工程学院 环境与设备系 , 福建 福州 350007; 2. 志品 <福州 >技术工程有限

公司 , 福建 福州 350015; 3. 台湾大学 工学院 , 台湾 台北 106)

　　摘 　要 : 　根据半导体工业废水的特点 ,将其分为无机 (氟系 )废水 、

有机废水 、

酸碱废水三部

分 ,分别采用化学混凝 、

MBBR 反应池 、

中和等方式进行处理 ,处理后合流排出 。简述了各构筑物的

设备配置 、

设计参数等 ,该工程采用全过程计算机控制 ,自动化程度高 ,处理效果较好 。

　　关键词 : 　半导体企业废水 ; 　化学混凝 ; 　MBBR反应池 ; 　中和

中图分类号 : X703. 1　　文献标识码 : C　　文章编号 : 1000 - 4602 (2006) 20 - 0073 - 04

A Project Ca se of Trea ting Sem iconductor Industry W a stewa ter in

Ta iwan

WAN G X iao

2

yun

1

,

　

FU A i

2

m in

2

,

　

L ee J ing

3

(

1

. D ept. of Environm en t and Equ ipm en t, Fu jian U n iversity of Technology, Fuzhou

350007

,

Ch ina;

2

. Cotech Eng ineering Fuzhou Corp. , Fuzhou

350015

, Ch ina;

3

. College of Eng ineer

2

ing, Ta iw an U n iversity, Ta ibei

106

, Ch ina)

　　Abstract: 　According to the characteristics of sem iconductor industry wastewater, it can be divided

into three parts: inorganic ( fluo rine ion) wastewater, organic wastewater, acid and alkaline wastewater,

which are treated by chem ical coagulation, MBBR , and neutralization p rocesses separately, the effluent

is discharged through com b ined system. The layout and design param eters of structures are outlined. Fo r

using computer contro l in full p rocess; it has high autom ated level and better treatm ent efficiency.

　　Key words: 　 sem iconductor industry wastewater; 　chem ical coagulation; 　MBBR; 　neutraliza

2

tion

　　台湾某半导体企业的废水处理工程设计处理规

模为 1. 4 ×10

4

m

3

/ d, 总 投 资 为 2. 5 亿 新 台 币 , 于

2005年 2月开始运行 , 2005年 5月通过新竹监测站

监测验收至今运行良好 。

该企业在建厂时充分考虑了废水处理要求 ,将

半导体生产工艺流程中的废水大致分为无机 (氟

系 )废水 、

有机废水 、

酸碱废水三部分 ,分别处理以

达到排放标准 。

1　

设计水质 、

水量

设计水质 、

水量见表 1。

表

1

　设计水质 、

水量以及排放标准

Tab. 1

　

D esign influent quality, capacity and effluent standard

项目

水量

/

(m

3

・

h

- 1

)

pH

COD /
(mg

・

L

- 1

)

BOD /

(mg

・

L

- 1

)

F

-

/

(mg

・

L

- 1

)

PO

3 -
4

/

(mg

・

L

- 1

)

SS /

(mg

・

L

- 1

)

无机废水

60

3

～

11

≤

400

≤

100

≤

450

≤

200

有机废水

250 /350 2

～

10

≤

2 300

≤

1 000

≤

250

酸碱废水

150

2

～

11

≤

100

≤

100

≤

100

出水标准

6

～

9

≤

150

≤

60

≤

6

≤

1

≤

30

　注

:

　有机废水并入

TMAH (

四甲基氢氧化铵

,

阳性型光

致刻蚀剂

)

废水后为

350 m

3

/ h

。

・

3

7

・

第

22

卷 　第

20

期

2006

年

10

月

　　　　　　　　　　　　

中 国 给 水 排 水

CH INA WA TER & WA STEWA TER

　　　　　　　　　　　　　

Vol. 22 No. 20

O ct. 2006

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