非晶硅薄膜太阳能电池及制造工艺

一、

                 非晶硅薄膜太阳能电池结构、制造技术简介

1、电池结构
分为：单结、双结、三结
2、制造技术
三种类型：
① 单室，多片玻璃衬底制造技术
该技术主要以美国

Chronar、APS、EPV 公司为代表

② 多室，双片（或多片）玻璃衬底制造技
该技术主要以日本

KANEKA 公司为代表

③ 卷绕柔性衬底制造技术（衬底：不锈钢、聚酰亚胺)
该技术主要以美国

Uni-Solar 公司为代表

所谓

“单室，多片玻璃衬底制造技术”就是指在一个真空室内，完成 P、I、N 三层非晶硅的沉

积方法。作为工业生产的设备，重点考虑生产效率问题，因此，工业生产用的

“单室，多片

玻璃衬底制造技术

”的非晶硅沉积，其配置可以由 X 个真空室组成（X 为≥1 的正整数），

每个真空室可以放

Y 个沉积夹具（Y 为

≥1 的正整数），例如：

•1986 年哈尔滨哈克公司、1988 年深圳宇康公司从美国 Chronar 公司引进的内联式非晶硅太
阳能电池生产线中非晶硅沉积用

6 个真空室，每个真空室装 1 个分立夹具，每 1 个分立夹

具装

4 片基片，即生产线一批次沉积 6×1×4＝24 片基片，每片基片面积 305mm×915mm。

•1990 年美国 APS 公司生产线非晶硅沉积用 1 个真空室，该沉积室可装 1 个集成夹具，该
集 成 夹 具 可 装

48 片 基 片 ， 即 生 产 线 一 批 次 沉 积 1×48 ＝ 48 片 基 片 ， 每 片 基 片 面 积

760mm×1520mm。

•本世纪初我国天津津能公司、泰国曼谷太阳公司（BangKok Solar Corp）、泰国光伏公司
（

Thai Photovoltaic Ltd）、分别引进美国 EPV 技术生产线，非晶硅沉积也是 1 个真空室，真

空室可装

1 个集成夹具，集成夹具可装 48 片基片，即生产线一批次沉积 1×48＝48 片基片，

每片基片面积

635mm×1250mm。

•国内有许多国产化设备的生产厂家，每条生产线非晶硅沉积有只用 1 个真空室，真空室可
装

2 个沉积夹具，或 3 个沉积夹具，或 4 个沉积夹具；也有每条生产线非晶硅沉积有 2 个

真空室或

3 个真空室，而每个真空室可装 2 个沉积夹具，或 3 个沉积夹具。总之目前国内主

要非晶硅电池生产线不管是进口还是国产均主要是用单室，多片玻璃衬底制造技术，下面
就该技术的生产制造工艺作简单介绍。
二、

                 非晶硅太阳能电池制造工艺

1、         内部结构及生产制造工艺流程
下图是以美国

Chronar 公司技术为代表的内联式单结非晶硅电池内部结构示意图：

图

1、内联式单结非晶硅电池内部结构示意图