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文件編號

JKNY/DC-107

   別

DC

多晶 PV600/800 切片作业指导书

機密等級

  □

機密

一般

制訂日期

2008-

12-23

版本

/次

A/0

  

頁 次

1/3

一:作业目的   

规范员工正确的操作,避免因操作失误等原因给生产造成不必要的损失,养成良好的作业习

惯.

 

二适用范围

 

 PV600/800 多晶切片机

三:作业内容
1.上下晶棒
1.1;待机台切割自动结束后,打开{手动运行}页面,关闭[温度调节]及[S/P 温度调节],
SLURRY 供应[无效](关闭砂浆)。点击[运行准备]屏蔽[主轴,LH,RH]报警。
1.2、打开切割室的门,拆下切割室内的保护盖和砂浆管,检查晶棒是否切透。
1.3、打开[自动运行准备]页面,选择[进刀工件加紧]按下[进刀低速自动上升],将晶棒升起。
1.4、按[手柄]的相反夹紧将加工工件松开,用上下晶棒的车将加工工件卸下机台。
1.5 将线网进行清理,检查线网是否有跳线叠线,将其处理好检查钢线容量是否够切一刀。滑轮是
否磨损。
1.6、上晶棒时必须按照 A 棒向新线方向来操作。
1.7、开切前必须要把切割的程式模拟一次,但中途开切不需要重新模拟程式。
1.8、晶棒的机台加紧工件需每次用抹布擦拭干净。且把晶棒推进机台加紧工件里面必须把晶棒的头
尾和线网对齐后,再将晶棒加紧。
1.9、将晶棒下压与线网接触,然后按下[工作台复位],