制程总结

制程：

一

.铸锭炉

太阳能级多晶硅料

-放入石英坩埚中-加热-熔化-长晶-退火-冷却

要点：

1.

石英坩埚，喷涂

Si

3

N

4

（离形剂），可阻止坩埚对硅料的污染，

防止粘锅。

2.

高纯多晶硅需要进行掺杂才能得到所需导电类型和电阻率的材料 ，

选择掺杂剂要考虑一下几点：杂志导电类型，固溶度，分布性，

与晶格匹配度，电离度。为了防止掺杂剂在掺杂过程中大量升华

损失，往往事先将掺杂剂做成含量稳定的母合金再行熔化。主要

制备

P 型多晶硅晶锭，掺杂剂为 B

2

O

3

.

3.

定向凝固法，将硅料放在坩埚中加热溶解，从底部通上冷源，造

  

成一定的温度梯度，再由硅料的偏析系数和 特性使固液界面从

坩埚底部向上移动而形成晶锭。主要利用温度梯度，加速不纯物

上浮下沉的速度。

4.

固液界面形状为凸型，有效帮助杂质偏析至晶锭两侧，提高可用

率。

5.

退火是一种金属热处理工艺，将金属缓慢加热到一定温度，保持

足够时间，以适宜温度冷却，目的是降低硬度，改善切削加工性 ，

消除残余应力，减少变形与裂纹倾向，细化晶粒，消除阻止缺陷。