坩埚培训   

 

中材坩埚喷涂与装料使用说明 

一、 坩埚喷涂注意事项 

1.  注意坩埚搬运，特别是在喷涂机台加热护板固定时、在向涂层烘烤炉上下搬运时，

注意坩埚轻拿轻放，避免托转、磕碰、挤压坩埚； 

2.  使用日本 UBE 氮化硅粉作为涂层原料时，建议坩埚加热温度在 50

℃左右，使用德

国 H.C. Stark 加热温度建议在 65~70

℃左右，喷枪压力为 30psi~35psi，否则在加热过程

中易出现龟裂、起泡、针孔等；如果温度偏高或偏低，可以通过喷枪压力对喷涂速度

进行调整； 

3.  喷涂涂层需分次涂覆，

喷涂完 1 遍后需用压缩空气将坩埚内飘落的氮化硅颗粒清除，

特别是集中在底角处的富集氮化硅颗粒；喷涂完后要注意坩埚的温度是否达标；建议

喷涂第一遍完后，在坩埚  加热期间检查坩埚内部是否有异常缺陷； 

4.  以 878*878*420mm 的坩埚装 420Kg 料为例，建议氮化硅粉不低于 390g，坩埚底部、

底角、底棱、立棱处适当增加涂层厚度； 

5．相同品牌不同批次的氮化硅粉喷涂效果也会产生差异，建议更换氮化硅粉时及时观

察是否有粘埚现象； 

 

喷涂前需用 80psi~90psi 的压缩空气吹扫坩埚表面