名称
晶体硅太阳电池
工艺说明
图号
编
号
制绒
旧底图总号
1
目的
1.1
去除单晶硅片表面的机械损伤层和氧化层。
1.2
在单晶硅片表面制备一个反射率在 10%～20%的织构表面。
2
原理
在低浓度 NaOH 水溶液中，硅片表面发生各向异性腐蚀，产生密集的金字塔型角锥体结构。
化学反应方程式：Si+2NaOH+H
2
O=Na
2
SiO
3
+2H
2
↑。
3
操作规程
3.1
装片
3.1.1 戴好防护口罩和干净的 PE 手套。
3.1.2 将仓库领来的硅片从箱子中取出，以 400 片为一个生产批次把硅片装入“硅片盒”
。
3.1.3 在“工艺流程卡”上准确记录硅片批号、生产厂家、电阻率和投入数。
3.1.4 在“工序产质量报表”上详细记录领料数、实际投入数、产出数，有缺片现象时要在缺片记录上记录
缺片的批号、厂商、箱号和缺片数。
3.1.5 装完一个生产批次后把“工艺流程卡”随同硅片一起放在盒架上，等待制绒。
3.2
开机
3.2.1 开工艺排风；打开压缩空气阀门；打开设备进水总阀。
3.2.2 打开机器电源，待设备自检完成并显示正常后，在手动操作界面下，手动打开槽盖，检查槽盖的灵活
性。检查机械手运行是否正常。
3.2.3 制绒清洗机共有 10 个清洗槽，其中 7、8、9、10 号槽中装满去离子水；1、2、3、4，5，6 号槽中是
化学腐蚀液。检查槽内水位并调节至规定的液位，检查液位开关，检查加热传感器，补液电磁阀，检
查并确保制绒机旁的排废液阀门开通。
3.2.4 按照本文件 3.3 条的规定配制各腐蚀槽的水溶液。
3.2.5 工艺槽温度设定和启动加热
根据本文件 3.4 条的规定设定工艺温度。启动加热器使槽内液体升温。要特别注意：槽内没有水或溶
液不能开加热器，否则会烧坏加热器。每次只能启动 3 个槽同时加热；待恒温后，再启动另外 3 个槽。
3.2.6 加热制绒液体到设定温度以后，根据本班目标生产量在控制菜单上进行参数设置（包括粗抛、碱蚀、
喷淋、鼓泡漂洗时间和产量的设置）
。
3.2.7 参数设置完毕，在手动状态下按“复位”键，运行模式拨到“自动”状态，按“启动”键，机器进行
复位，待机械手停止运动后即可上料生产。若不立即生产，则暂时拨回“手动”状态。
3.3
配制溶液
3.3.1 浓度
粗抛液：NaOH:H
2
O=11.8%wt。
粗抛液自动补碱箱中 NaOH:H
2
O=15%wt。
制绒液：NaOH:H
2
O=1.76%wt； C
2
H
5
OH:H
2
O=5.0%vol； Na
2
SiO
3
:H
2
O=1.26%wt。
3.3.2 配液过程
粗抛液：清洗好粗抛槽，关闭排水阀门，打开进水阀门向槽中缓慢放水，同时向槽中倒入 NaOH 粉末，
控制速度，在槽中约放入 2/3 槽水的同时加入 10kg NaOH，关闭槽盖，在控制面板上打开加热开
关对槽中液体开始加热。待温度升至 70℃时，打开槽盖，再向槽中倒入 10kg NaOH 粉末并注水，
同时用水瓢对溶液进行搅拌，以使 NaOH 充分溶解，液面升至溢水口下方 2cm 处时停止注水。
制绒液：按照 3.3.1 条的浓度计算出 170L 制绒液所含有的 NaOH、Na
2
SiO
3
和无水乙醇的量，清洗好制
绒槽，关闭排水阀门，打开进水阀门向槽中缓慢放水，同时向槽中倒入 NaOH、Na
2
SiO
3
和无水乙醇，
过程中用水瓢不断搅拌溶液，待加完 NaOH、Na
2
SiO
3
和无水乙醇后，放水调整液面至溢水口下方
底图总号
拟
制
审
核
日期
签名
标准化
更改标记
数量
更改单号
签
名
日
期
批
准
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