生产设备必须考虑的电压暂降免疫标准

从事太阳能行业中、上游的生产型企业，每年应该会遇到几次由于电压波动导致还原炉、单
晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切割机等，也有一些蚀刻机和扩散炉等停机。这一现象让生产
人员觉得莫名其妙，但又找不出造成停机停产的原因。电压瞬间跌落是一种不可避免的自然
现象，通常是由电力系统设备统故障或者大风、雷雨、大电机启动、短路故障等引起的，严重
的电压骤降，将使用电设备停止工作，且造成工件报废、设备损坏、人工怠工等，损失巨大。

 

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电压暂降（又叫电压骤降，

Voltage Sag/ Dip）是指电压有效值降至额定电压

（

Nominal Value）的 10%至 90%，且持续时间为 20ms 至 2s（典型持续时间为 20ms～

500ms）.

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电压暂降是由深度和持续时间来描述的，深度是指电压降至额定电压的百分比，时间通常
是用周波或者毫秒来表示的，因此不同深度与持续时间的暂降对设备正常运行造成的影响
也不一样。

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通常生产设备都能忍受

87%以上的电压瞬间跌落，对于 87%～50%的暂降，若生产设备满

足

SEMI 47 电压暂降免疫标准，将很少受到影响；若设备没有满足 SEMI F47 标准，将会

表现出不同程度的故障。对于

50%以下电压暂降即使持续时间很短（例如一个周波）也会造