Thermal process training

EDIT BY YUML

CSMCHJ 扩散部工艺培训

----主要设备、热氧化、扩散、合金

扩散部

   

前言：
     扩散部按车间划分主要由扩散区域及注入区域组成，其中扩散区域又分扩散老区和扩散新区。扩散区域按工艺分，
主要有热氧化、扩散、

LPCVD、合金、清洗、沾污测试等六大工艺。本文主要介绍热氧化、扩散及合金工艺。

目录
第一章：扩散区域设备简介

……………………………………

第二章：氧化工艺