太阳能电池工艺简介

 

    我朋友从 02 年开始，先后承接过目前国内太阳能电池行业主流公司的一系列项目（从硅

片制造到组件生产），通过完成这些项目的设计、施工和二次配，我朋友公司无疑已成为业

内承接太阳能电池生产厂房的最专业公司。还见证了以上某项目从破土动工到正式投产，甚

至停产改造的所有过程，也曾去过兄弟太阳能项目，通过现场的亲历和对这些公司施工图

的研读，对太阳能电池的生产工艺及厂房及建设略知一二，愿在此与大家探讨。

 

       一、工艺简介 

       在上一次《太阳能电池的一些资讯》中，对于生产原理，我已经做过叙述，太阳能电池

生产工艺一般分为：扩散前清洗、扩散、扩散后清洗、刻蚀、

PECVD，丝网印刷，烧结，分类

检测和封装。

 

扩散前清洗的目的在于制绒，就是把相对光滑的原材料硅片的表面通过强酸和强碱腐蚀，

使其凸凹不平，变得粗糙，形成漫反射，减少直射到硅片表面的太阳能的损失。相关设备有

德国

RENA 这些设备中最好的是 RENA，因为他不光卖设备，还卖制绒工艺的专利。所使用

的介质有

HF，HCL，HNO3，NaOH，Na2SiO3 和乙醇等。动力源有自来水，纯水，压缩空

气，氮气，工艺冷却水，废水，热排风和酸排风。

 扩散的目的在于形成 PN 结。硅片含硼，

是

P 型结物质，需要往里面掺杂磷，使电子发生移动，形成 PN 结空穴。所使用的介质有

POCL3，N2，O2。动力源有压缩空气，氮气，工艺冷却水，热排风和有机排风。使用的设备

是高温扩散炉，厂商有

SVCS，TEMPRESS，长沙 48 所等。该道工艺有洁净要求，需要在

洁净室内运行。因为扩散炉内的石英管需要清洗，所以需要增加一种石英管清洗机。

 

扩散后清洗的目的在于洗去扩散时形成的磷硅玻璃，即

SiO2 和 P2O5 的混合物，所以扩散

后清洗机又叫做去磷硅玻璃清洗机。动力源有氮气，压缩空气，纯水（恒田水处理公司）

HF，热排风，酸排风，废水等。设备有深圳捷佳创。 刻蚀的目的在于把硅片的边缘 PN 结断

开，防止短路。目前国内所使用的设备几乎都是长沙

48 所的。动力源有 CF4，N2，NH3，热

排风，有机排风。

 

PECVD 的目的在于镀氮化硅薄膜，增加折射率，同时掺杂 H 元素，使缺陷减少，还可以