硅片切削液废砂浆回收处理技术

　　我公司在借鉴砂浆在线回收系统经验的基础上，成功地对线切割工艺硅片
加工所产生的废砂浆进行处理，回收其中的切削液和碳化硅微粉，返回到线切
割机重新使用。

　　

1  

、 工艺流程

　　我公司现有废砂浆回收装置的工艺流程如图

1 所示

 

　

§

2、工艺流程说明

　　废砂浆回收过程包括四个子过程

:

　　（

1）废砂浆的固液分离

　　利用硅粉比碳化硅微粉的颗粒和密度均较小的特点，将废砂浆分离为粗碳
化硅和粗切削液。
　　（

2）粗碳化硅的去杂