如何提高硅片产品质量之

-----硅落产生原因及预防措施

硅落定义：硅片表面未贯穿硅片的局部区域缺陷，成凹坑状。

影响硅落的因素主要有以下几方面，下面我将逐一详细分析，供大家参考。

1、

硅块抛光影响因素如下：

抛光目的：减小硅块表面损伤层，便于我们切薄片，降低产生硅落的几率；

1、1 国内具有代表性的为：无锡上机金刚石砂轮修正抛光、日本新东软刷抛光；

1、2 金刚石砂轮抛光：可以有效修正硅块的尺寸，有利于后续倒角工序，但是如

果砂轮磨损严重或者进给量过大，容易在硅块表面形成挫伤层或者内应力，造成切

片时容易产生毛边、硅落现象；

1、3 软刷抛光：可以有效修整硅块表面的粗糙度，利于后续切片工序，但是不能

有效修正硅块的尺寸，不利于倒角工序；

1、4 硅块抛光夹具一定要清洁干净，防止有硬质小颗粒对硅块表面形成划伤； 

1、5 避免措施：开方工序开方时硅块尺寸余量稍大点，抛光时先用金刚石砂轮机

对硅块尺寸进行修正，然后再用软刷机进行抛光；及时更换磨损严重的砂轮或者毛

刷；

1、6 硅块抛光之后倒角，确保倒角机夹具不会对硅块抛光面形成损伤；

2、

粘胶工序影响因素如下：

2、1 粘结工序工作台表面及粘结工装表面要清洁干净，避免小颗粒异物对硅块抛

光面形成损伤；

2、2 粘结硅块时，控制好晶棒数量，防止一次粘结过多，造成粘结胶固化，硅块

倒角处刮胶造成小崩边；

2、3 粘结硅块时用胶量过多，造成粘胶层过厚，切片时容易引起硅落或者掉片；

我们在进行硅块粘结时严格按照操作规程，控制粘块胶的用量，避免不必要的浪费

和损失；

2、4 晶棒初步固化后，开始清洁硅块倒角处的残胶，最好用百洁布蘸酒精把倒角

处的胶擦拭干净；

2、5 硅块粘到玻璃上之后，及时定位、压重物，防止年界面产生气泡；

2、6 严格控制粘块 A、B 胶的质量配比，如果固化剂偏多会造成胶层固化后硬度高，

从而影响硅落，严重的会引起大量掉片；质检部要定期对秤胶电子称精度进行校准，

保证胶的配比；