多晶硅生产工艺现状与未来趋势

目前，国际多晶硅生产的主流工艺是改良西门子工艺，占总产能

85%以上，2010

年用该技术生产的多晶硅占全球总产量

16.7 万吨的 86.6%。

　　该技术成熟于上世纪

70 年代，在沉寂近 20 年后，伴随光伏产业的发展，世界各国

均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、
高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术、四氯化硅生产
气相白碳黑技术和热能综合利用技术。随规模化生产，该技术仍有提升空间。

　　近年来，改良西门子法技术随其产量的扩张，其竞争能力得以强化，主流工艺地位
进一步稳固，未来

20 年甚至更多年仍将是主流技术。改良西门子法因为产品纯度高、生

产成本低，可以满足大规模、安全、环保生产要求，成为市场首选的主流工艺。从成本角
度比较，瓦克和

REC 的成本已经基本接近，显示出该技术具备旺盛的生命力。下面介绍

一下几种主要的多晶硅的生产方法。

　　

1  改良西门子法——闭环式三氯氢硅氢还原法

　　改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和产业硅粉在一定
的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还
原炉内进行

CVD 反应生产高纯多晶硅。

　　国内外现有的多晶硅厂尽大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。

　　

2  硅烷法——硅烷热分解法

　　硅烷（

SiH4）是以四氯化硅氢化法、硅合金分解法、氢化物还原法、硅的直接氢化法

等方法制取。然后将制得的硅烷气提纯后在热分解炉生产纯度较高的棒状多晶硅。以前只
有日本小松把握此技术，由于发生过严重的爆炸事故后，没有继续扩大生产。但美国
Asimi 和 SGS 公司仍采用硅烷气热分解生产纯度较高的电子级多晶硅产品。

　　

3  流化床法

　　以四氯化硅、氢气、氯化氢和产业硅为原料在流化床内（沸腾床）高温高压下天生三
氯氢硅，将三氯氢硅再进一步歧化加氢反应天生二氯二氢硅，继而天生硅烷气。

　　制得的硅烷气通进加有小颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应，天生粒
状多晶硅产品。由于在流化床反应炉内参与反应的硅表面积大，生产效率高，电耗低与
本钱低，适用于大规模生产太阳能级多晶硅。唯一的缺点是安全性差，危险性大。其次是
产品纯度不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。

　　此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。目前世界上只有美国

MEMC 公

司采用此法生产粒状多晶硅。此法比较适合生产价廉的太阳能级多晶硅。