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线痕分类

线痕按照形状分有单一线痕，均匀线痕和硬点线痕。硅片表面的单一

线痕，有深有浅；均匀线痕体现为整个或者部分硅片表面出现多条由

深至浅状似划伤的线痕；而硬点线痕出现的毫无规律，但是形状似单

一线痕，但是线痕上明显看到有硬点的存在。对于单晶来说，线痕主

要有均匀线痕和单一线痕；对于多晶来说，三种都存在。