题。各公司在设计产品时，均尽可能提高测量机的刚性和采用高水平的驱动控制技术，以减
轻测量过程中的振动。
　　目前，在测量仪器制造业中，各方面均占有很大优势的三丰公司

(Mitutoyo)、德国卡尔

蔡司

+东京精密及海克斯康集团(Leitz、Brown&sharpe、DEA、Tesa、Sheffield 及其他)形成了三

大巨头鼎立态势。当然，还有一些公司分别以其独创的技术，尽可能开展一些有别于同行企
业的营销战略。譬如阿卡西公司就特别重视抑制振动的技术，为了满足用户对高灵敏度、高
分辨力振动消除器的需求，该公司将进一步扩大多种振动消除器系列产品的销售业务。大塞
公司是一家自动测量检测机生产企业，该公司将根据市场需求变化及不同用户的特殊需要
开发出新的软件技术，以满足用户的需求。
　　更高精度要求的应对和竞争
　　目前，尺寸精度已经由单纯的长度测量进入了综合的形状测量阶段。随着制品不断向高
精度和高质量化发展，对测量技术也提出了更严格的要求。
　　作为长度基准的测量尺领域内，一方面长度增加和高分辨力是发展的趋势，而对应于
按顺序对微细刻划线技术的增量式测量，已经开发出不计数就能检测出测量尺位置的绝对
式测量尺。索尼公司已开发出短波长磁尺，牌号为

SR33/34，并已作为商品投放市场，这种

刻度尺采用高密度磁性材料，抗环境干扰性优异，操作方便，采用屏蔽式结构，响应速度
为

150m/min。

　　用于角度测量的圆编码器

(角度传感器)也已开发出可进行绝对测量的新产品。如海登海

因公司已开发出可检测绝对位置角度的绝对测量型圆编码器

RCN827，其特点是：

①采用

φ100mm 大口径中空轴；

②外表设有油槽，可排除冷却润滑液；③配有自共振频率范围广

的软件，可控制性能良好；

④最高操作速度 300rpm；⑤最小分辨力为 27bit/r。

　　为了满足设备小型化的测量要求，西铁城钟表公司开发出

30×16.5mm 极小尺寸的长编

码器测量单元，最小读数

1μm，量程 3mm。

　　在齿轮测量方面，对形状精度要求极为严格，大阪精密机械公司开发出一种高精度齿
轮测量仪

MGL-26(见图 1)，其特点是：

①采用高精度激光位置检测传感器，可精密测量出

齿面形状；

②可自动计算出误差值；③由于采用激光测量，可避免过去测量机驱动系统产

生的振动；

④测量重复精度 0.3μm，最小分辨力达 1nm。

　　在轴类工件测量方面，已开发出采用

CCD 阵列传感器的非接触测量技术，可在数 10s

时间内，测量出旋转轴的长度、直径、同轴度、圆度、重直度及跳动等多种数据。如

Tesa 公司

开发出一种

CNC 非接触式轴类零件测量仪 TESASCAN，其测量精度为 2+0.01Dμm(D 为被

测量件的直径

)。

　　微细、小型零件的测量不断增多
　　在圆度、圆柱度测量仪方面，对其测量精度的要求进一步提高，尤其是随着微小孔和微
细零件测量需求的增多，各公司相继开发出能够满足高精度测量指标的产品。
　　

Taylor Hobson 公司开发出一种全自动圆度测量仪 Talyrond295，其特点是：

①依靠高速

调同心和调水平机构，工件能很容易的迅速调整安装。由于工件和仪器发生干涉的可能性小，
测量范围广；

②采用新开发的可动防振台、防风罩，测量精度稳定；③在机器校正方面，已

获得英国

UKAS(英国检测协会)的检测鉴定保证书规定的各种相关数据，便于用户购置该

机后，进行对比检测；

④配有高速找正机构及水平测量器，工件可快速定位进行测量。该公

司负责人指出：

“目前，圆度测量仪和表面粗糙度检查仪虽已制定了行业标准，但只能在表

面质量和圆度精度测量方面满足用户的需要。随着自动化的迅速进展，广大用户要求快速测
量工件的整体形状精度，这已成为该领域近期的发展趋势。

”“该领域目前正由接触式测量向

非 接 触 测 量 过 渡 ，

Taylor  Hobson 公 司 开 发 出 一 种 综 合 测 量 仪 CLI  2000 ， 可 在 大 范 围

(□200mm)采用接触式和非接触式两种方式进行测量。公司还销售一种与超精密镜面加工机