真空蒸发

一、真空蒸发沉积的物理原理

           在真空环境下，给待蒸发物质提供足够的

热量以获得蒸发所必须的蒸汽压，在适当的温度

下，蒸发粒子在基片上凝结形成薄膜。

       真空蒸发就是利用蒸发材料在高温时所具有的

饱和蒸汽压进行薄膜制备。