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参 考 书

   

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薄膜生长

吴自勤

  

 

薄膜生长

吴自勤

2001  

2001  

科学出版社

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薄膜物理

薛增泉

  

 

薄膜物理

薛增泉

1991  

1991  

    

电子工业出版社

    

电子工业出版社

 

 

  

 

薄膜物理与薄膜技术

杨邦朝

  

 

薄膜物理与薄膜技术

杨邦朝

1994  

1994  

   

电子科技大学出版社

   

电子科技大学出版社

  

  

薄膜材料与薄膜技术

郑伟涛

  

  

薄膜材料与薄膜技术

郑伟涛

2008  

2008  

化工工业出版社

化工工业出版社

  

  

固体薄膜材料与制备技术

宁兆元

  

  

固体薄膜材料与制备技术

宁兆元

2008  

2008  

科学出版社

科学出版社

 

 

     

  

薄膜技术与薄膜材料

田民波

     

  

薄膜技术与薄膜材料

田民波

2006  

2006  

 

清华大学出版社

 

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薄膜材料制备原理、技术及应用

唐伟忠

  

  

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唐伟忠

2003 

2003 

冶金工业出

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版社

    

版社

Film Material Sciences of Microstructures 

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微电子工艺

微电子工艺

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Quantum Heterostructures-microelectronics and 

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Optoelectronics,  V.V.Mitin et al. 1998. Cambridge 

Optoelectronics,  V.V.Mitin et al. 1998. Cambridge 

University Press 

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