不高，但基本能满足太阳能电池生产的使用。 

此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工艺技术。目前世界上

只有美国 MEMC 公司采用此法生产粒状多晶硅。此法比较适合生产价

廉的太阳能级多晶硅。 

4，太阳能级多晶硅新工艺技术 

除了上述改良西门子法、硅烷热分解法、流化床反应炉法三种方

法生产电子级与太阳能级多晶硅以外，还涌现出几种专门生产太阳能

级多晶硅新工艺技术。 

1）冶金法生产太阳能级多晶硅 

据资料报导

[1]

日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在

世界上最大的太阳能电池厂（SHARP公司）应用，现已形成 800 吨/

年的生产能力，全量供给SHARP公司。 

主要工艺是：选择纯度较好的工业硅（即冶金硅）进行水平区熔

单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进

行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水

平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分

和外表部分，经粗粉碎与清洗后，在电子束融解炉中去除磷和碳杂质，

直接生成太阳能级多晶硅。 

2）气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅 

据资料报导

[1]

以日本Tokuyama公司为代表，目前 10 吨试验线在

运行，200 吨半商业化规模生产线在 2005-2006 年间投入试运行。 

主要工艺是：将反应器中的石墨管的温度升高到 1500℃，流体