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清洗工艺

1  原片分拣
   ( 1 )根据电阻率把电池分类。硅片常见电阻率分类 0.5-6Ω· ㎝, 0.5-3 Ω· ㎝ , 3-6 Ω· ㎝。
   ( 2 )把藏片,厚片,薄片,缺损片,厚度不均匀片取出
2  去损伤层: Si+2NaOH ( 30% ) +H

2

O →Na

2

SiO

3

 +2H

2

 ↑

 

, 原叫减薄(原来硅片太

厚,

>300μm, 目前 180±20 μm  )。思考:为什么硅片厚度会由 300 降低到 180 ?

  

制绒

Si+2NaOH(0.8%-1.3%)+H

2

O →Na

2

SiO

3

 +2H

2

 ↑ ,溶液中加有酒精或异丙醇,增加各向异

性引子,加速形成金字塔。

85℃ 左右,时间 10-50

 

分钟

4  盐酸洗( V

浓盐酸

V

=1:6

   

) 或盐酸(

37% )双氧水( 30% )混合洗( II

 

号清洗液)(

V

浓盐酸

 

V

双氧水:

V

=1 : 1 : 6

   

85℃ 左右,清洗 5-20 分钟。盐酸具有酸和络合剂的双重作用,氯离

 

子能与

Pt 

2+

 

Ag

+

Cd

2+

Hg

2+

等金属离子形成可溶于水的络合物。

5  HF 洗( V

HF

:V

=1 : 10 ),室温 , 5-10 分钟。有些厂家不用。

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两张多晶硅绒面显微照片