清洗工艺
1 原片分拣
( 1 )根据电阻率把电池分类。硅片常见电阻率分类 0.5-6Ω· ㎝, 0.5-3 Ω· ㎝ , 3-6 Ω· ㎝。
( 2 )把藏片,厚片,薄片,缺损片,厚度不均匀片取出
2 去损伤层: Si+2NaOH ( 30% ) +H
2
O →Na
2
SiO
3
+2H
2
↑
, 原叫减薄(原来硅片太
厚,
>300μm, 目前 180±20 μm )。思考:为什么硅片厚度会由 300 降低到 180 ?
3
制绒
Si+2NaOH(0.8%-1.3%)+H
2
O →Na
2
SiO
3
+2H
2
↑ ,溶液中加有酒精或异丙醇,增加各向异
性引子,加速形成金字塔。
85℃ 左右,时间 10-50
分钟
4 盐酸洗( V
浓盐酸
:
V
水
=1:6
) 或盐酸(
37% )双氧水( 30% )混合洗( II
号清洗液)(
V
浓盐酸
:
V
双氧水:
V
水
=1 : 1 : 6
)
85℃ 左右,清洗 5-20 分钟。盐酸具有酸和络合剂的双重作用,氯离
子能与
Pt
2+
、
Ag
+
、
Cd
2+
、
Hg
2+
等金属离子形成可溶于水的络合物。
5 HF 洗( V
HF
:V
水
=1 : 10 ),室温 , 5-10 分钟。有些厂家不用。
两张多晶硅绒面显微照片