Thermal process training

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第三章：扩散工艺

第四章：合金工艺

第一章：扩散部扩散区域工艺设备简介

炉管设备外观：
       

扩散区域的工艺、设备主要可以分为：

类别

主要包括

按工艺分类 热氧化

一氧、二痒、场氧、Post 氧化

扩散

推阱、退火/磷掺杂

LPCVD

TEOS、SI

3

N

4

、POLY

清洗

进炉前清洗、漂洗

合金

合金