保护硅片。所用设备有德国的

ROTH&RAW 平板式 PECVD 设备，还有 CENTROTHERMO

的管式

PECVD 设备。动力源有 SiH4，NH3，氮气，压缩空气，工艺冷却水，热排风，硅烷

排风等。

 丝网印刷的目的在于印刷导电电极。先印背面，再印正面。目前国内大多数厂家使

用设备是意大利的

BACCINI 印刷线。动力源有真空，压缩空气，热排风，有机排风等。 烧

结的目的是把电极烧结在

PN 结上。高温烧结可以使电极穿透氮化硅膜，形成合金。所用设

备有美国

DESPACH 等。动力源有压缩空气，工艺冷却水，热排风，有机排风等。 分类检测

的目的在于把电池片 按照效率进行分类。目前国内大 多数 厂家使用设备是意 大利的

BACCINI 检测仪。动力源有真空，压缩空气。 最后一道工艺就是热塑包装。 

        二、厂房建设经验总结 

        一条年产量 25MW 的生产线，设备占地至少需要 1100 平方米，而国内厂商一般很少

有只计划一条线的公司，所以太阳能电池生产车间净面积都在

2000 平方米以上。按照 16 小

时甚至

24 小时生产来计算，工艺人员不下于百人，所以相应的办公室，更衣间，食堂，宿

舍，卫生间等设施都不能太小。外线动力站（制冷，供热，纯水，空压，真空，空调，工艺

冷却水，消防，变配电，自控，通讯等）房总面积不小于

2000 平方米。厂房和动力站房有

钢筋混凝土框架结构，多层建筑的，也有钢结构加金属复合板单层建筑的，但布置工艺和

动力设备的楼层，因管线众多，层高都较大，至少是

7 米。 

以下经验总结均以

50MW 生产线为例。 

       电源是整个工厂的首要条件，仅工艺和动力设备用电功率就在 1800KW 左右，必须有

可靠的电能供应。

PECVD 设备，制冷机，空压机，空调风机和循环水泵是用电功率较大的

设备。

 

工 艺 纯 水 的 用 量 在

15 吨 / 小 时 左 右 ， 水 质 标 准 都 要 达 到 中 国 电 子 级 水 的 技 术 指 标

GB/T11446.1-1997 中 EW-1 级。工艺冷却水用量也在 15 吨/小时左右，水质中微粒粒径不宜

大于

10 微米，供水温度宜在 15-20

℃，供水压力 5 巴左右，应有可靠的温度，供水压力控

制，最好采用变频泵。压缩空气用量在

400NM3/H 左右，如果空气品质要求较高，如需要达

到压缩空气质量等级的

1 级甚至更高要求，建议使用无油空压机。如果露点温度要求苛刻，

干燥机建议使用组合式。真空排气量在

300M3/H 左右，水环式真空泵虽然便宜，但是效率

下降的也快，不推荐使用。氮气和氧气如果靠近大的气体供应站，一般采用液体储罐供应的

方式，初投资低，氮气储罐

20 立方米左右，氧气 10 立方米足够。特殊气体如硅烷等，考虑

安全因素，单独设置一个特气间还是很有必要的。

 

空调系统的空气处理方式则视具体土建情况而言，可以采取组合式空气处理机组集中处理