硅片切片作为硅片加工工艺流程的关键工序，其加工效率和加工质量直接关系到整个硅
片生产的全局。对于切片工艺技术的原则要求是：
① 切割精度高、表面平行度高和厚度误差小。
② 断面完整性好，消除拉丝、刀痕和微裂纹。
③ 提高成品率，缩小钢丝切缝，降低原材料损耗。④提高切割速度，实现自动化切割。

5  多线切割机的关键技术

（

1）高精度排线导轮（导丝辊）多辊同步驱动技术；

（

2）恒张力控制技术。钢线保持相对恒定的张紧力，是保证切割表面质量的主要因素；

（

3）高精度切割进给伺服控制系统。配合钢线张力自动控制进给系统，保证在不断线的条

件下实现切割的高效性；

 

（

4）高精度排线导轮系统的制造及耐用度技术； 

（

5）自动排线功能。以提高切割线的使用率，节约生产成本。

6  国内多线切割设备状况

   国内多线切割设备起步较晚，硅片生产商目前使用的设备主要依靠进口，中国有远见和
技术能力的厂家如陕西汉江、无锡开源、上海日进等公司纷纷投入巨资进行研发，经过几年
的研制，已有产品投放市场，抵制垄断、替代进口已成现实。

7  国产 GK4620 数控多线硅片切割机简介

   GK4620 数控多线硅片切割机是由陕西汉江机床有限公司经过几年的市场调研，反复论
证，突破并掌握关键技术而开发成功的大规格高效、高精多线硅片切割设备，加工最大工件
横截面可达

10″，最大工件长度可达 820mm，最大存线量为 800km,主驱动功率为

2×67KW。

   该机床采用工件垂直向下进给，钢线水平移动切割的形式。主要有工件进给机构、切割机
构、收放丝机构、排丝机构、张力检测和调节系统、磨料浆液系统、冷却系统、气动系统和电气
控制系统组成。

   该机床主体全部采用铸铁件，提高了加工稳定性和切割精度；主轴轴承采用水冷气密封
的结构形式，运行精度高，使用寿命长。

该机床技术规格参数如表二所示：
                                       表二

序号

名

    称

参

   数

1 

最大工件横截面

220×220mm

2 

最大工件长度

820mm

2