片切斜的方法。

一、硅片切斜现象

   在硅片加工中，需要有钢线、砂浆、导轮参与，同时还要满足钢线

高速转动、砂浆不停地流在钢线来完成硅片的切割。具体切割过程：

具有一定张力的钢线在导轮的带动下水平高速转动，砂浆不停地流

在钢线上，具有粘稠性的悬浮液可以携带碳化硅附着在转动的钢线

上。随着硅块的下降，钢线携带碳化硅对硅块进行切割。正常情况下

切割后的硅片是均匀薄厚、表面无锯痕。如果在切割过程中，有部分

硅片出现掉片现象或是切割结束后观察硅片的两边出现薄厚不均，

硅片表面出现明显的锯痕，统称为硅片切斜。硅片切斜表现在钢线上

一般为钢线叠加在一起，或是钢线直接跳出原来所在的导轮线槽。

二、引起硅片切斜的根本原因

钢线在高速切割硅块过程中，需要保持钢线与硅块垂直的位置，

一旦钢线出现倾斜，就会直接导致切割的硅片出现切斜问题。

引起硅片出现切斜的根本原因就是由于各种因素使得钢线与硅

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