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Fraunhofer 太 阳 能 系 统 研 究 机 构 ( Fraunhofer  Institute  for  Solar 
Energy)通过这些方法,在使用砷化物和磷化物材料的效率水平方面创下新记
录。尤其是,研究发现氧(

O)是一个多余的非发光中心:它使电池的工作效率

和使用寿命大打折扣。要将沉积膜中

O”的水平降到最低,必须使用质量最好的

前驱物,尤其是有机铝源,其污染物的含量必须低于

1ppm。通常情况下,必须

对专有生产和净化方法进行严格的质量控制,以确保太阳能光伏应用中的污染
水平最低,从而生产出可靠的高性能设备。
 

由于沉积最佳层使用的很多前驱物的引火特性导致很多重大问题,要达到

既定的规范要求,必须使用先进工艺水平的分析能力,以辨别触发化学物质的
特性和准确的氧气污染程度。尤其是对于第

III 组金属烷基,例如三甲基铝

TMA)和三甲基铟(TMI),由于其本身具有高反应率,因此,需要小心处

理,避免与空气接触。例如,任何与液体或固体产品接触的金属管路或导管必须
完全不含

O

2

/H

2

O。通常需要进行长时间的真空热处理,以脱附表面上的这些物

质并消除可能存在的污染。图

2 中显示了利用长时间处理方案时,残余气体的排

除效率,以及观察到杂质明显减少。产品灌装前,实验证明进行

48 小时处理的

导管,在最重要的结构的性能方面优于经过

24 小时处理的导管,如图 3 所示。