Fraunhofer 太 阳 能 系 统 研 究 机 构 ( Fraunhofer Institute for Solar
Energy)通过这些方法,在使用砷化物和磷化物材料的效率水平方面创下新记
录。尤其是,研究发现氧(
O)是一个多余的非发光中心:它使电池的工作效率
“
和使用寿命大打折扣。要将沉积膜中
O”的水平降到最低,必须使用质量最好的
前驱物,尤其是有机铝源,其污染物的含量必须低于
1ppm。通常情况下,必须
对专有生产和净化方法进行严格的质量控制,以确保太阳能光伏应用中的污染
水平最低,从而生产出可靠的高性能设备。
由于沉积最佳层使用的很多前驱物的引火特性导致很多重大问题,要达到
既定的规范要求,必须使用先进工艺水平的分析能力,以辨别触发化学物质的
特性和准确的氧气污染程度。尤其是对于第
III 组金属烷基,例如三甲基铝
(
TMA)和三甲基铟(TMI),由于其本身具有高反应率,因此,需要小心处
理,避免与空气接触。例如,任何与液体或固体产品接触的金属管路或导管必须
完全不含
O
2
/H
2
O。通常需要进行长时间的真空热处理,以脱附表面上的这些物
质并消除可能存在的污染。图
2 中显示了利用长时间处理方案时,残余气体的排
除效率,以及观察到杂质明显减少。产品灌装前,实验证明进行
48 小时处理的
导管,在最重要的结构的性能方面优于经过
24 小时处理的导管,如图 3 所示。