切割丝最终的指标体现在
断丝率,
越低的断丝率越能够获得更高的生产效率、
成
品率以及更少的原料损失和硅片成本。(单晶硅
断丝率低;多晶硅 断丝率高)
备注
:破断力
:使用拉力机检测单丝,使单丝发生破断时的力
抗拉强度:使用拉力机检测单丝,使单丝发生破断时的强度
打结率 :将切割丝打一个结,然后做拉力测试,破断时的力与原本的破断
力的比值
五
单晶多晶硅切割机
切割机是硅片生产最重要的机器设备,目前市场上使用切割机分别如下。
5.1、HCT 公司:HCT-E500SD-B/5/Applied HCT MaxEdge 线锯
5.2、瑞士梅耶博格 MEYER BURGER DS261/DS264/DS265/DS271 等型号线锯
5.3、日本小松 NTC-MWM442DM 型(单晶硅片切割专用)
5.4、日本小松 NTC:PV600S/PV800S/PV800H/PV1000 型
5.5、中国电子第 45 所:DXQ-601 型
5.6、苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 X07 250×400-1D 型
5.7、德国 KUKA 高级线锯机 KUKA AWSM 3800.6A
5.8、日本东京制纲株式会社 VWS350
众多机型中以日本小松
NTC-MWM442DM 和 NTC-PV800S 为主流,占有中国
切割机
市场
90%份额。切割机配合切割丝的使用,生产制备单晶多晶硅片。
六
工字轮
工字轮为收放切割丝的载体。根据切割机机型不同,使用的工字轮也有所不同,一
般分为三种:永久型、
一次型、 重复使用六次型;
NTC-MWM442DM 切割机使用永久型工字轮,NTC-PV800S 切割机可使用一次
型工字轮和重复六次型,
NTC-PV600 切割机使用一次型工字轮。具体根据客户适用机
型选择对应的工字轮。
七
切割丝长度
切割丝长度依据客户工艺水平不同(每刀
115 公里、 120 公里、 130 公里、 140
公里),视客户需求然后确定长度。一般有
230 公里、360 公里、 380 公里、 420 公里、
440 公里等,具体可根据客户需求提供各种规格长度切割丝。
八 切割丝配套辅料
切割丝的配套辅料为
切割液、
碳化硅微粉
。切割丝、
切割液、 碳化硅微粉三者被
称为硅片切割三剑客,是硅片切割不可或缺的辅料。切割丝低断丝率和切割液、
碳化硅微
粉的配比也有着重要的关系。