示的几何模型。

　　二、

 流体

动压基本方程

　　

1、Reynold
s 方程

 

对于游离磨料
线锯切片加工，
在垂直于锯丝
轴线的横截面

上，可以用图

3 所示的几何

模型描述。由于在圆形锯丝和被切割晶体间充满研磨液，锯丝和被加工硅晶体表面间的流体动压效

应，类似于两平面问的流体动压润滑现象。以锯丝轴线及运动方向为

X 方向，垂直于锯丝轴线的水

平方向为

Y 方向，则二维 Reynolds 方程的形式如下：

 

式中：

P 为流体动压力(MPa)；h 为油膜厚度(μm)；x 为锯丝轴向方向(m)；Y 为锯丝截面方向(mm)；

U 为走丝速度(m／s)；η 为研磨液粘度(mPa·s)。

　　

2、膜厚方程

　　锯丝和被加工晶体表面间的液膜厚度由

3 部分组成 ，其方程为

 

式中：

F 为流体动压力在锯丝位移方向的合力，如图 3 所示，F=pcosy；A 为作用在锯丝某点的单位

力引起该点的弹性位移，又称为自柔顺系数；

hg 表示切入端研磨液的冲击所引起的锯丝径向偏移；

href 表示在流体动压力作用下，锯丝所产生的整体刚性位移。

　　

3、 栽荷平衡方程

　　对于挠性锯丝，在张紧力作用下处于水平位置，但在流体动压力作用下，锯丝将偏转一定的角

度

θ(如图 2 所示)。因此，其载荷平衡方程为