在系统实际操作运行中发现 ，影响系统处理效率的另一个主要因素是循环水量的问题。洗
涤塔在连续运转一定时期后

 (一般为 6 个月)开始出现处理效率下降，即使调高 pH 值也 收

效甚微

 ，原因在于洗涤塔循环水 中的盐类 很容易在 喷嘴处形成结晶，造成堵塞 ，使循环

水量下降，而水量不足使得废气和水不能充分接触，因而影响系统的处理效率。因此运行

 

中要把洗涤塔循环水的电导度严格控制在

 20 mS／cm 以下 ，减 少盐类堵塞喷 嘴的情况 ，

定期对喷嘴进行清理

 ，对循环水泵和淋洗塔进行保养 ，将循环水压力控制在 1．5×lO5 Pa

以下

 ，保证充足的循环水量。  

  1．3 有机废气处理系统 
  半导体制造过程中排放的含有有机成分的废气(voc)通常采用直接焚烧、活性炭吸附、生物
氧
  化等方法进行处理 ，但低浓度大风量 的有机废气直接焚烧会造成大量的燃料消耗和不必
要的污染

 ，只有较高浓度的有机废气才建议直接焚烧；活性碳吸附的方法 ，由于其材料特

性，存在易燃烧、水分敏感度高、脱附后残留负荷高等缺点

 ，在半导体制造界基本不再使用 ；

而生物氧化技术作为一种较新的处理技术还有待在处理大风量方面做进一步的研究和发展
l4-5]。半导体制造 的有机废气排放特点是浓度较低 ，但排风量较大 ，因此必须考虑将有机
废气浓缩后再进行焚烧处理。沸石浓缩转轮系统和焚化炉焚化系统的组合可以很好地解决这
一问题。
  沸石浓缩转轮加焚化处理的系统处理原理 ，是将大风量低浓度有机废气转换成小风量高
浓度气流

 ，再将浓缩后的高浓度有机废气进行焚化处理，其主要优点是系统处理效率高

 

(95％)、操作简单并且易清洗保养 。所选用的沸石为新型的疏水性沸石 ，从而避免水分对吸
附材料的侵占，保证良好的吸附效果，而高品质的沸石必须

 符合严格 的硅铝比、纯度 、结

晶度、孔径常数等要求。沸石转轮对低浓度的

 VOC 有很好的吸附能力 ，吸附后的干净空气

就可自然排放。
   处理流程 ：含有 VOC 的废气通过系统排风机排放至 VOC 处理系统 ，90％的废气通过沸
石转轮的吸附成为清洁空气排放至大气，

10％的废气被加热后进人脱附区，用于对已经吸

附有

 VOC 成分的转轮部分进行脱附 ，由于转轮在不停地旋转 ，使得吸附和脱附的过程在

同时不间断地进行。脱附后的高浓度

VOC 废气通过焚化炉风机被送入焚化炉进行焚烧处理。

主要控制和运行参数包括转轮转速、脱附风量、脱附温度、转轮冷却温度、焚化炉温度等。

 

   VOC 处理系统 的主要运 行成本 来 自于焚化炉的燃料消耗 ，处理风量为 50 000 m3／h
的系统每年的天然气费用超过百万人民币，因此如何在保证系统处理效率的前提下降低能
源消耗是系统管理人员必须要考虑的问题。在

 VOC 处理系统所有的运行参数中，对处理效

率和燃气消耗影响最大的是脱附风量和焚化炉温度。因此针对某

 VOC 处理系统的脱附风量

和焚化炉温度进行了实验性调整和效率测试。

 

  数据证明，脱附风量和焚化炉的运行温度确实是影响系统处理效率和能耗的最主要的因素

 

，

 

  焚化温度越高，脱 附风量越大 ，则处理效率越高 ，但能耗也同时升高。通过测试数据对
比，可以确认焚化炉温度的合理控制范围为

 700—730

℃，如果温度继续下降，焚化炉出口

的测值就开始有

 明显上升，如果温度继续升高则燃料消耗增加。由于系统排气风量的变化

和压力的变化等因素

 ，比较难确定精确的最佳脱附风量值，但通过实验数据总结，脱附风

量控制在系统排气

 总量的 9．5％ ～10％这样一个合理的范围内，就能够做到既节省能耗

又保证

 系统处理效率 ，既经济又安全地运行 VOC 处理系统。

   2 结语 
  废气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节 ，作为大规模、代表先进制造技
术

 的产业 ，半导体制造企业必须注意到废气排放将对环境造成的污染 、对先进半导体制程