粘结工艺改善措施如下：

1、对粘结钢板进行处理，用铣床把钢板与磨砂玻璃粘结面铣成斜面，粘结钢板入

线口与出线口厚度差值为 1.5mm；或者在钢板与晶托之间垫 2 个 1-1.5mm 左右垫片，

晶棒设置零点时入刀面与线网形成一定的的夹角；

    

       图 1 所示为：HCT 晶托                图 2 所示为：MB 晶托

2、改进优势：

可以有效减少线锯切割造成的硅落；可以省掉入刀面的导向条，降低生产成本；

硅片切割结束，便于晶棒提升，不易产生挂线；

3、

如果在晶托与粘结钢板之间添加垫片，注意垫片位置放在入线口侧；

4、

无论是改变粘结钢板厚度还是增加垫片，对员工操作要求比较高，比如 MB 机

床 1#棒与 2#棒倾斜方向要一致，如下图所示；

3、线锯工序影响因素如下：

3、1 线锯工序选用固化好的晶棒时，严禁用壁纸刀片刮导向条两侧的残胶，避免

形成入刀硅落；硅块倒角处的残胶禁止用壁纸刀片处理，避免产生倒角小崩边；

3、2 线锯工序装载晶棒线网定位时，出入线口预留 2mm 底料，避免硅片切割完毕，

晶棒脱胶时出入线口两端产生崩边、硅落；