辨率。同时采用软件定点补偿来提高精度。其方法是在整个直线位置控制装置安装完毕后，
再借助于更高一级的位置测量装置，如激光干涉仪，进行测量比较，设定多点并逐点进行
误差记录，将值存入微机的

EPROM 中，然后运行时通过微机软件控制，进行定点补偿来

提高其检测精度。
 
　　四、多极电磁式、双边对称结构与磁垫悬浮导轨
 
　　为提高直线电机低速运行特性，电机需设计成多磁极型。由于直线电机磁场是平摊着的，
这对电机制造不会带来很大难度。同时考虑到上述隔磁问题，其磁场应采用电磁式较好，并
且这样更便于控制。通过分析可知，直流直线电机在运行中要产生两种力，一种是由励磁产
生的磁拉力（也可成为电机的制动力）；另一种就是由电枢绕组产生所需要的驱动推力。
 
　　因此通过测速、位置反馈来合理调节控制其励磁电流和电驱电流，即可较好地实现起动、
加速、运行、制动、定位和自锁等要求。为保证推力平稳，直线步进电机的布局应做成双边对
称结构。
 
　　并且此时也可实现无机械接触的磁垫悬浮导轨，

 即利用直线电机的动、定件兼作机床

导轨副。为确保磁浮气隙间的平衡，在气隙间安装一间隙测量传感器，通过间隙测量来反馈
控制两侧对称励磁绕组的电流，以改变两侧定件与动件之间的磁拉力，即兼作磁垫导轨的
悬浮力，从而调整两侧对称的磁垫气隙间距。
 
　　五、附加压电式微步进的组合式直线电机
 
　　为满足超精密加工的要求，需通过微量进给、精密定位来实现。为此，可在原直线电机
进给机构中再以串联方式安置一微进给直线步进电机。该直线步进电机利用压电陶瓷的磁致
伸缩原理制成，可实现

0.1～0.01μm 的微小步距进给。利用该组合式直线电机，在同一台机

床上即可同时满足快、慢速进给和微量进给、精密定位的多种切削要求。