应该终止蒸镀。这一部分主要用于计算当前膜系的实际膜厚和折射率，并和预设值一起计算
出评价函数，还要给出评价函数的临界值，以判断是否终止此次蒸镀。
　　

2.3 初始化部分

　　此部分用来设定最初的膜厚，修正因

CCD 温度效应和光源不稳定引起的误差，还要得

到谱线位置和

CCD 象元的对应关系的定标。

　　

2.4 调制光解调软件

　　通过对光源信号的调制，来消除由于环境光和蒸发源等杂散光对采样结果的影响。
　　

2.5 拟合软件部分

　　上面各部分所使用的数据，或是由我们设定的理论值，或是存在误差的采样值，而在
实际监控中，我们需要对这些值进行修正拟合，消除误差，因此要编制相应的处理软件以
实时拟合，不断修正，提高宽带膜厚监控系统的精度。
　　

2.6 反馈控制软件部分

　　此部分必须基于硬件才能实现，它根据评价函数的值做出相应的动作，当评价函数大
于临界值时，它发出继续蒸镀的命令并重新采样。当评价函数落入临界值内时，它发出一个
控制命令，终止蒸镀或进入下一层蒸镀。
　　

2.7 人机交互界面

　　它提供一个好的人机交互界面，实现上述各部分间的通信和初值设定。
　　

3 结束语

　　基于实时修正膜系的色散系数、膜厚的设想，以

CCD 数据采集系统、光栅光谱仪、计算

机系统为基础组建宽带膜厚监控系统，避免了传统的宽带膜厚监控系统存在的严重依赖镀
制前设定的目标透射率的缺陷，提高了系统透射率的精确度。
　　参考文献：
　　［

1］顾培夫.薄膜技术［M］.杭州：浙江大学出版社，1990.

　　［

2］王锐，周楠，杨春晖，徐玉恒. In

∶Mn∶Fe∶LiNbO3 晶体非挥发性全息存储［J］.硅

酸盐学报，

2005（11）.