下电极,然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。
(
8)制作减反射膜:为了减少入反射损失,要在硅片表面上复盖一层减反
射膜。制作减反射膜的材料有
MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,
TiO2 ,Ta2O5 等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、
PECVD
法或喷涂法等。
(
9)
烧结:将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。
(
10)
测试分档:按规定参数规范,测试分类。
由此可见,太阳能电池芯片的制造采用的工艺方法与半导体器件基本相同 ,
生产的工艺设备也基本相同,但工艺加工精度远低于积体电路芯片的制造要求,
这为太阳能电池的规模生产提供了有利条件。
单晶硅和多晶硅的区别
单晶硅和多晶硅的区别是,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格
排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的芯片,则形成单晶硅。如果
这些晶核长成晶面取向不同的芯片,则形成多晶硅。多晶硅与单晶硅的差异主要
表现在物理性质方面。例如在力学性质、电学性质等方面,多晶硅均不如单晶硅。
多晶硅可作为拉制单晶硅的原料。单晶硅可算得上是世界上最纯净的物质了,一
般的半导体器件要求硅的纯度六个
9 以上。大型积体电路的要求更高,硅的纯度
必须达到九个
9。目前,人们已经能制造出纯度为十二个 9 的单晶硅。单晶硅是
电子电脑、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。
高纯度硅在石英中提取,以单晶硅为例,提炼要经过以下过程:石英砂一
冶金级硅一提纯和精炼一沉积多晶硅锭一单晶硅一硅片切割。