图中
CP 测试程序的三部分 Contact、Sean、BIST 都与 FT 测试程序中此三部
分一致,不同的是错误处理
(Fail deal)部分的处理不同。CP 测试中 DUT 是整个晶
圆,未通过测试的芯片可以通过打墨点或是机器记录位置的方式标记出,待晶
圆划片时,把错误芯片分类挑出,称为分
BIN。在 FT 测试中,因为是已经封装
完成的芯片,所以当芯片未通过测试时,直接通过机械手
(Handler)将错误芯片
丢弃或分类。
FT 测试为了充分利用 ATE 测试资源,采用了四同测的方式;而 CP
测试是量产初期过渡项目,为了节约探针卡制作成本,采用单测方式。
1 项目测试描述
1.1 Contact 测试
利用被测管脚与地之间的二极管进行连接性测试。施加电流使二极管导通,
正常连接时管脚上的电压值应为二极管管压降。如图
2 所示。其管脚与电源之间
的连接性测试原理与此相同。