图 5 是分别用 1064nm 激光和 532nm 的

激光刻划 CdS/CdTe 薄膜后，用探针式表面
轮廓分析仪测量的刻痕形貌。 1064nm 激光
刻划的刻槽边缘有高达 4 微米的"脊状峰"，
这不利于后续沉积的背电极接触层及金属背

电极与透明导电薄膜之间形成连续的具有良

好欧姆特性的连接。

图

5 CdTe 薄膜激光刻划刻痕形貌

 

 

（

3）表面腐蚀技术

   

 

使用磷酸-硝酸混合溶液可以获得较好

的腐蚀效果，典型溶液的体积浓度为（硝酸

磷酸：水）0.5：70：29.5，室温下腐蚀时间
为 1 分钟。降低硝酸浓度和温度可以进一步
延长腐蚀。磷硝酸溶液沿晶界的择优腐蚀较

为严重，容易在沉积背电极后形成局部的短

路漏电通道。使用硝酸-冰乙酸溶液可以进一
步减轻晶体择优腐蚀程度，获得更好的膜面

腐蚀效果。

图

6 不同温度下使用硝酸-冰乙酸腐

蚀后碲化镉的

XRD 谱图

 

 

前景展望

目前，碲化镉薄膜太阳能电池的生产成本正在逐步接近、甚至低于传统发电系统的，这

种廉价的清洁能源在全世界范围内引起了关注，各国均在大力研究解决制约碲化镉薄膜太
阳能电池发展的因素，相信存在的问题不久将会逐个解决，从而使碲化镉薄膜电池成为未
来社会的主导新能源之一。