4.84%，功率重量比为 341W/kg。
柔性衬底电池的产业化方面，目前天津津能电池有限公司在建

6MW 非晶硅柔性电池生产

线，

30MW 生产线已经开始了项目论证，新疆天富光伏光显有限公司在建 1MW 非晶硅柔

性电池生产线，未来准备建立

8MW。这两家公司都由于设备及技术由国外进口，预计电池

成本偏高。总的来说，国内目前具备了非晶硅薄膜电池研制的技术基础，但是在柔性衬底上
的研究还处于刚刚起步的阶段，和国外的差距较大。
四、柔性衬底薄膜太阳电池的制备
下面以美国

Uni-Solar 公司的不锈钢柔性衬底三结非晶硅太阳电池为例简单介绍卷对卷

(rolltoroll)生产过程。
将成卷不锈钢带

(带磁性)装入专用清洗机中，采用卷对卷方式进行钢带传送，对钢带两个

表面同时进行清洗、干燥。首先磁控溅射沉积金属和金属氧化层，以增强衬底
的反射率。然后采用等离子体化学气相沉积法

(PECVD)沉积非晶硅层，以形成叠层太阳电池

结构，这是整个制造过程中最关键的工艺步骤。对于三结非晶硅太阳电池来说，需要在已经
做好的背反射器的表面连续沉积

9 层硅基薄膜，包括 3 个 P-I-N 结子电池，各分离的反应室

之间需要设计独特的气氛隔离室以防止相邻反应室间的气体交叉污染。硅基薄膜沉积完成之
后，需在电池顶部沉积铟锡氧化物

(ITO)，即透明导电氧化层作为入射光的减反射层。然后

需要在光入射一面布置栅线，并根据最后电池的尺寸和形状，进行切割、电极接合、电池切
割和电池互联，从而构成具有一定参数的电池组件。该生产线的年产量为

30MW，造价为

6000 万美元，90 米长，3 米高，以厚度 127μm 的不锈钢(长 2.6km，宽 36cm)为衬底
采用

rolltoroll 技术来制备大面积柔性衬底非晶硅太阳电池，有以下关键技术问题需要解决：

非晶硅薄膜的高速沉积；大面积薄膜生长时的均匀性；各反应室间气体隔离装置的开发；
实时监控与诊断等等。整个

rolltoroll 生产线的开发是一个国家综合工业实力和基础的体现。

五、上海太阳能工程技术研究中心的工作
上海市太阳能工程技术研究中心目前拥有整套的柔性非晶薄膜电池研制线，太阳模拟器 、
QE 测试设备等测试装置，目前所研制的不锈钢衬底非晶硅电池，电池效率达到 8.4%
(AM0，25

℃)；聚酰亚胺衬底非晶硅电池，电池效率达到 6.4%(AM0，25℃)。