改善方法:校准设备。
2、工作台问题:
工作台的不稳定性会导致大量
TTV 不良的产生。
改善方法:维修工作台。
3、导轮问题:
因导轮问题而产生的
TTV 不良,一般出现在新导轮和导轮磨损很大的时候。
改善方法:更换导轮。
4、导向条粘胶问题:
当导向条下的胶水涂抹不均匀,出现部分空隙,在空隙位置的硅片,易出现
TTV 不良问题。
改善方法:规范粘胶操作。
三、台阶
台阶的出现,是由切片过程中的钢线跳线引起,而导致钢线跳线的原因,包括设备、工艺、
物料等各方面的问题,部分如下:
1、砂浆问题:
砂浆内含杂质过多,没有经过充分过滤,造成钢线跳线。
改善方法:规范砂浆配制、更换,延长切片的热机时间和次数。
2、硅块杂质问题:
硅块的大颗粒杂质会引起跳线而产生台阶。
改善方法:改善原材料或铸锭工艺,改善
IPQC 检测手段。
3、单晶停机、切起工艺问题:
单晶相对多晶硬度较大,在异常停机并重新切起的过程中,采用违规操作产生的钢线跳线。
改善方法:严格遵循工艺操作。
4、线、砂工艺匹配问题:
钢线、砂浆型号不匹配造成切片跳线,此种情况很少出现。