量开始在国内爆发式增长,相关的技术交流也开始在国内广泛兴
起。
2
当前国内使用的硅片切割机的种类及特点
目前国内各个硅片切割厂家基本使用国际
3 大多线切割机的
设备。也就是,瑞士的
HCT、M+B、日本的 NTC,另外近两年
日本的
TMC(东京制纲)线锯也开始打入国内市场,并取得了不错
的销量。对于硅片切割的核心设备厂家,下面分别简单的作以说
明。
2.1
HCT 线锯
HCT 在 1983 年推出第一线切割机后 14 年里才累计卖出了
100 台设备,在随后的 6 年里又累计卖出了 150 台。太阳能光伏市
场在
2003 年启动以后,HCT 针对市场需要在 2005 年推出了世界
上最大的太阳能硅片线切割机
B5。双工作台 4 个导轮满载最多可以
一次切割硅棒长达到
2 米,非常适合大规模生产。此机型在 2006
年里一年的销售量就突破了
100 台。HCT 在 2007 年被美国的应用
材料公司收购。其后在
2009 年推出了新机型 MaxEdge B6,主要
特点是将原有的一个线网拆分为
2 个独立控制的线网。这样有助于
使用更细的饿切割线从而提高出片率降低生产成本。但由于该设备
还处于推广阶段,工艺还有待进一步成熟。
2.2
M+B(梅耶博格)线锯
M+B 公司成立于 1953 年,早期主要生产研发外圆和内圆切割
机。在
1980 年启动线切割技术的研究,1991 年正式推出了第一